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一种低串扰的硅光子波分复用器

基本信息

申请号 CN201920062736.X 申请日 -
公开（公告）号 CN209446819U 公开（公告）日 2019-09-27
申请公布号 CN209446819U 申请公布日 2019-09-27
分类号 G02B6/12（2006.01）I 分类 光学;
发明人 方青; 陈晓铃; 顾苗苗; 陈华; 张志群 申请（专利权）人 熠谱（上海）半导体制造有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 650093 云南省昆明市五华区学府路253号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种低串扰的硅光子波分复用器，属于半导体光信号传输技术领域。该低串扰的硅光子波分复用器，从下至上包括晶圆的衬底、晶圆的埋氧层、波导层和波导的SiO2上包层，所述波导层分别为微环谐振滤波器（MRR）、传输波导和阵列波导光栅（AWG），微环谐振滤波器通过传输波导与阵列波导光栅相连。本实用新型通过在硅光AWG输入端增加微环谐振滤波器进行滤波，对波长调谐系统进行操作，调节微环谐振滤波器的谐振波长，使谐振波长与硅光AWG对应波长进行匹配，对所需波长信号进行进一步滤波实现低串扰特性，有效解决硅光AWG器件串扰性能不佳的问题。