一种真空可180°翻转镀膜夹具
基本信息
| 申请号 | CN201811566408.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109468606B | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN109468606B | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴先云;廖洪平;陈秋华;郑平;张星;陈伟 | 申请（专利权）人 | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 350003福建省福州市软件大道89号F区9号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种真空可180°翻转镀膜夹具，包括基片夹持翻转机构和拨动机构。本发明对表面法线具有180°对称的两个通光表面的待镀基片，对第二个通光表面的镀膜，有效消除了除膜层沉积步骤外其他的五个步骤，提高了生产效率。 |
