太阳能电池片涂层工艺用等离子管制造方法
基本信息
| 申请号 | CN200810033283.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101225513A | 公开（公告）日 | 2008-07-23 |
| 申请公布号 | CN101225513A | 申请公布日 | 2008-07-23 |
| 分类号 | C23C16/513(2006.01);C23C16/52(2006.01);C23C16/34(2006.01) | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周文华 | 申请（专利权）人 | 上海强华石英有限公司 |
| 代理机构 | 上海明成云知识产权代理有限公司 | 代理人 | 上海强华石英有限公司;上海强华实业股份有限公司 |
| 地址 | 200241上海市闵行区景东路3589号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种太阳能电池片涂层工艺用等离子管制造方法，等离子管为等离子增强化学气相沉积管，即PECVD管，用于太阳能电池片氮化硅涂层加工工艺，按下列步骤制造：(1)选用高纯石英，通过高温电阻炉拉制出坯管，然后简单脱羟；(2)坯管由摆式定位高速切割机按所需尺寸切割；(3)将PECVD管经清洗、干燥后用自动烘口机进行烘口处理，使管子端面平整圆滑；(4)加工后的PECVD管待自然冷却后再进行清洗、干燥；(5)然后将清洗完毕后的PECVD管装入真空脱羟炉内，待真空脱羟完成后取出PECVD管，使其自然冷却。本发明取代了现有的石英玻璃管，PECVD管平均寿命为80小时以上，而价格仅为进口管的三分之一。 |
