用于生产蓝宝石图形衬底的分选方法
基本信息
| 申请号 | CN201410126845.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103871939B | 公开（公告）日 | 2017-07-14 |
| 申请公布号 | CN103871939B | 申请公布日 | 2017-07-14 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/66 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈起伟;魏臻;孙智江;施荣华 | 申请（专利权）人 | 海迪芯半导体（南通）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215131 江苏省苏州市相城区经济开发区漕湖产业园朝阳工业坊 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于生产蓝宝石图形衬底的分选方法，包括如下步骤：S1：调整光致发光设备的参数，对蓝宝石图形衬底外延层进行光激励测试，由外延层图形化表面的微观结构所反射回的光进行反射率测算；S2：对所述的微观结构的尺寸测量得到尺寸值；S3：建立反射率与尺寸值间的对应关系；S4：将待分选晶圆整批导入到光致发光设备中令设备自动运行；S5：将微观结构的反射率实时通过对应关系输出为尺寸值，并依据结果进行晶圆分选。由于采用了以上技术方案，使得在蓝宝石图形化衬底领域可以将图形化结构的检测步骤得以简化，提高了生产效率，降低了生产成本，易于实现大规模批量生产。 |
