一种APCVD背封炉氮气罩的固定装置

基本信息

申请号 CN202123232751.0 申请日 -
公开(公告)号 CN216715536U 公开(公告)日 2022-06-10
申请公布号 CN216715536U 申请公布日 2022-06-10
分类号 F16L41/08(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 分类 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热;
发明人 赵晶;邓建忠;孙超;姜振虎;满序都;冯瑞琪 申请(专利权)人 山东有研半导体材料有限公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 253012山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号(中元科技创新创业园)A座921室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置。该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母,所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部,以及设置在圆台部上部的紧固部;该紧固部外周设有螺纹,并在该紧固部的径向上设有凹槽,所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上;所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。本实用新型能够保证固定的密封性和紧合度,可重复多次使用,可适用于所有APCVD背封炉,具有很强的通用性。本实用新型的固定装置显著地减少了设备的停机时间,保证了产品的质量,节约了喷头由于断钉造成的维修成本,杜绝了由于氮气罩固定造成的故障发生。