一种APCVD背封炉氮气罩的固定装置
基本信息
申请号 | CN202123232751.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216715536U | 公开(公告)日 | 2022-06-10 |
申请公布号 | CN216715536U | 申请公布日 | 2022-06-10 |
分类号 | F16L41/08(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热; |
发明人 | 赵晶;邓建忠;孙超;姜振虎;满序都;冯瑞琪 | 申请(专利权)人 | 山东有研半导体材料有限公司 |
代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 253012山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号(中元科技创新创业园)A座921室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置。该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母,所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部,以及设置在圆台部上部的紧固部;该紧固部外周设有螺纹,并在该紧固部的径向上设有凹槽,所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上;所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。本实用新型能够保证固定的密封性和紧合度,可重复多次使用,可适用于所有APCVD背封炉,具有很强的通用性。本实用新型的固定装置显著地减少了设备的停机时间,保证了产品的质量,节约了喷头由于断钉造成的维修成本,杜绝了由于氮气罩固定造成的故障发生。 |
