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一种通过监控直拉单晶硅转肩直径自动调节拉速的方法

基本信息

申请号	CN202111626097.3	申请日	-
公开（公告）号	CN114318512A	公开（公告）日	2022-04-12
申请公布号	CN114318512A	申请公布日	2022-04-12
分类号	C30B15/26（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	崔维学;鲁强;李永博;李钊;盖晶虎;崔彬;姜舰	申请（专利权）人	山东有研半导体材料有限公司
代理机构	北京北新智诚知识产权代理有限公司	代理人	刘秀青
地址	253012山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号（中元科技创新创业园）A座921室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种通过监控直拉单晶硅转肩直径自动调节拉速的方法，该方法筛选单晶转肩形状较好的直径数据，作图进行拟合，得到拟合函数并将该函数内嵌至PLC中；根据CCD相机测量直径与函数给出直径差值，通过自动调整拉速，拉速灵敏性通过调整PID参数进行控制，根据实际转肩直径与预定直径符合程度通过调整PID参数来控制拉速，反复几次即可调整出合适PID参数，实现转肩过程自动调节拉速。本发明的方法可以实现转肩过程的拉速自动调控，提高转肩的成功率和过程的可重复性。本发明的方法可以实现自动转肩过程，无需人为操作，避免因人为操作对单晶拉制过程造成的影响，明显降低了人员操作强度，提高了生产效率，增加了产量，降低人工成本。