一种用于半导体单晶硅棒切割的粘晶定位装置

基本信息

申请号 CN202123268983.1 申请日 -
公开(公告)号 CN216992598U 公开(公告)日 2022-07-19
申请公布号 CN216992598U 申请公布日 2022-07-19
分类号 B28D7/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 褚天宇;蔡明 申请(专利权)人 山东有研半导体材料有限公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 253012山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号(中元科技创新创业园)A座921室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种用于半导体单晶硅棒切割的粘晶定位装置。该装置包括:粘接平台、定位标尺、标尺架和定位螺丝,其中,所述标尺架安装在粘接平台上,所述标尺架上设有供定位标尺安装的安装孔,定位标尺可以相对于标尺架前后移动;所述定位标尺表面有刻度,达到预定位置时,定位标尺的前端与单晶硅棒的端面接触,利用定位螺丝拧紧在标尺架上的螺孔来限定定位标尺的位置。该装置有效控制了单晶粘接位置,减少了通过估算位置而盲目粘接单晶造成的切割损失,改善了操作者的操作习惯,提高了单晶切割收率。该装置操作简单,利于首次接触该装置人员的学习。