一种用于半导体单晶硅棒切割的粘晶定位装置
基本信息
申请号 | CN202123268983.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216992598U | 公开(公告)日 | 2022-07-19 |
申请公布号 | CN216992598U | 申请公布日 | 2022-07-19 |
分类号 | B28D7/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
发明人 | 褚天宇;蔡明 | 申请(专利权)人 | 山东有研半导体材料有限公司 |
代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 253012山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号(中元科技创新创业园)A座921室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种用于半导体单晶硅棒切割的粘晶定位装置。该装置包括:粘接平台、定位标尺、标尺架和定位螺丝,其中,所述标尺架安装在粘接平台上,所述标尺架上设有供定位标尺安装的安装孔,定位标尺可以相对于标尺架前后移动;所述定位标尺表面有刻度,达到预定位置时,定位标尺的前端与单晶硅棒的端面接触,利用定位螺丝拧紧在标尺架上的螺孔来限定定位标尺的位置。该装置有效控制了单晶粘接位置,减少了通过估算位置而盲目粘接单晶造成的切割损失,改善了操作者的操作习惯,提高了单晶切割收率。该装置操作简单,利于首次接触该装置人员的学习。 |
