一种用于直拉硅单晶多次加掺掺杂剂的装置
基本信息
| 申请号 | CN202123382045.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216919476U | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN216919476U | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C30B15/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 张欢;郝晓明;张宏浩;吴志强;崔彬;姜舰;王雅楠;连庆伟;李超 | 申请（专利权）人 | 山东有研半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 253012山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号（中元科技创新创业园）A座921室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶多次加掺掺杂剂的装置，该装置包括籽晶和掺杂剂仓，所述掺杂剂仓与所述籽晶均为硅材质，二者通过螺纹连接，掺杂剂装载在掺杂剂仓中。所述籽晶下端表面铣有外螺纹；所述掺杂剂仓中间镂空且在其上端内壁铣有与籽晶的外螺纹啮合的内螺纹。所述籽晶表面的外螺纹的长度大于掺杂剂仓的内螺纹的长度。所述籽晶表面的外螺纹的长度为掺杂剂仓的内螺纹的长度的数倍。采用本实用新型的装置来加掺掺杂剂，炉内不必改变液面温度条件，不会对热场使用寿命造成影响。另外，通过籽晶插入液面掺杂，过程简单，耗时短，不会影响石英坩埚使用寿命。该装置加掺掺杂剂不会存在炸裂等风险，除了掺杂剂仓外，籽晶可实现多次使用。 |
