一种芯片检测装置及芯片检测的方法
基本信息
| 申请号 | CN202010790206.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112113974A | 公开（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申请公布号 | CN112113974A | 申请公布日 | 2020-12-22 |
| 分类号 | G01N21/94(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 赵楚中;吴淑娟 | 申请（专利权）人 | 深圳瑞波光电子有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳瑞波光电子有限公司 |
| 地址 | 518052广东省深圳市南山区西丽镇茶光路1089号深圳集成电路设计应用产业园404 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种芯片检测装置，该芯片检测装置包括芯片承载模块，反射模块，显微镜，图像转换模块，图像输出模块，芯片承载模块用于承载待测芯片的底部，其中待测芯片的侧面为待测面，反射模块设于待测面的侧边，显微镜包括物镜和镜筒，物镜用于设置在反射模块上方，图像转换模块设于镜筒的外端，图像输出模块与图像转换模块电连接。本发明提供的芯片检测装置及方法通过反射模块将待测芯片的待测面的图像反射到图像转换模块，并通过图像输出模块显示检测图像，使得在进行人工检测芯片时，无需将芯片从扩晶环上取下，可直接对扩晶环上的芯片的腔面进行检测，简化了操作工序，提高了检测工序的效率，同时不需要复杂的检测工具，降低了检测成本。 |
