检测治具和检测装置
基本信息
申请号 | CN202010923150.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112161981A | 公开(公告)日 | 2021-01-01 |
申请公布号 | CN112161981A | 申请公布日 | 2021-01-01 |
分类号 | G01N21/84(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 赵楚中;吴淑娟 | 申请(专利权)人 | 深圳瑞波光电子有限公司 |
代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 深圳瑞波光电子有限公司 |
地址 | 518052广东省深圳市南山区西丽镇茶光路1089号深圳集成电路设计应用产业园404 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开了一种检测治具和检测装置。该检测治具包括:支撑组件;承载杆,转动支撑于支撑组件上,且承载杆沿轴向设有承载平面,承载平面设有吸附孔;其中,吸附孔用于吸附固定芯片条于承载平面。通过承载杆转动支撑于支撑组件,并采用负压吸附的方式通过吸附孔将芯片条吸附固定于承载杆的承载平面上,本申请提供的检测治具能够有效地提高检测芯片条的效率。 |
