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一种MEMS加速度计噪声测试方法

基本信息

申请号	CN202010263657.2	申请日	-
公开（公告）号	CN111398635A	公开（公告）日	2020-07-10
申请公布号	CN111398635A	申请公布日	2020-07-10
分类号	G01P21/00(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	张婷婷;李政华;沈旭东	申请（专利权）人	嘉兴恩湃电子有限公司
代理机构	嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙）	代理人	嘉兴恩湃电子技术有限公司
地址	314006浙江省嘉兴市南湖区大桥镇亚太工业园区（A9）363号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种MEMS加速度计噪声测试方法，包括以下步骤：步骤S1：配置待测试的至少一MEMS加速度计；步骤S2：经由所述AD8429仪表放大器将所述MEMS加速度计输出信号差分放大输出为一MEMS加速度计差分放大信号；步骤S3：经由所述动态分析仪将所述MEMS加速度计差分放大信号汇总上传至一电脑采集系统；步骤S4：所述电脑采集系统依据预先设置的一FFT参数对于所述MEMS加速度计差分放大信号进行数值处理，以输出所述MEMS加速度计的一噪声图。本发明公开的MEMS加速度计噪声测试方法，借助加速度计输出信号的放大电路，将采集到的信号放大后，经由动态分析仪采集信号，传输至电脑等上位机做频谱分析，并对原始数据保存处理。