差分式电涡流微位移传感器标定装置、方法、计算机设备和存储介质

基本信息

申请号 CN202011487217.1 申请日 -
公开(公告)号 CN112729087B 公开(公告)日 2022-03-22
申请公布号 CN112729087B 申请公布日 2022-03-22
分类号 G01B7/02(2006.01)I;G01B9/02018(2022.01)I;G01B11/02(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 徐正平;冯勇通 申请(专利权)人 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
代理机构 南京理工大学专利中心 代理人 朱炳斐;马鲁晋
地址 215163江苏省苏州市高新区科技城科灵路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种差分式电涡流微位移传感器标定装置、方法、计算机设备和存储介质。在标定过程中,首先通过调节一维精密调整台,使被测物与两探头之间的距离为零位距离。然后,将被测物与其中一探头之间的距离调至量程最大值,并调节处理电路增益使处理电路输出最大有效值。之后,在整个量程范围内,以指定步长步进调节被测物与探头之间的距离,同步记录双频激光干涉仪给出的距离信息及处理电路输出值,最后通过数据拟合得到差分式电涡流微位移传感器的标定结果。本发明采用双频激光干涉仪测量被测物与探头之间的距离,精度高,能够提高差分式电涡流微位移传感器的标定精度;采用双探头差分测量模式,可有效提高输入输出关系曲线的线性度。