差分式电涡流微位移传感器标定装置、方法、计算机设备和存储介质
基本信息
申请号 | CN202011487217.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112729087B | 公开(公告)日 | 2022-03-22 |
申请公布号 | CN112729087B | 申请公布日 | 2022-03-22 |
分类号 | G01B7/02(2006.01)I;G01B9/02018(2022.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 徐正平;冯勇通 | 申请(专利权)人 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
代理机构 | 南京理工大学专利中心 | 代理人 | 朱炳斐;马鲁晋 |
地址 | 215163江苏省苏州市高新区科技城科灵路88号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种差分式电涡流微位移传感器标定装置、方法、计算机设备和存储介质。在标定过程中,首先通过调节一维精密调整台,使被测物与两探头之间的距离为零位距离。然后,将被测物与其中一探头之间的距离调至量程最大值,并调节处理电路增益使处理电路输出最大有效值。之后,在整个量程范围内,以指定步长步进调节被测物与探头之间的距离,同步记录双频激光干涉仪给出的距离信息及处理电路输出值,最后通过数据拟合得到差分式电涡流微位移传感器的标定结果。本发明采用双频激光干涉仪测量被测物与探头之间的距离,精度高,能够提高差分式电涡流微位移传感器的标定精度;采用双探头差分测量模式,可有效提高输入输出关系曲线的线性度。 |
