一种用于电子化学品的取样系统
基本信息
| 申请号 | CN202023169560.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213749207U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213749207U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G01N1/10（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 夏致远;金向华;张友圣;李刚;曹文权 | 申请（专利权）人 | 金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司 |
| 代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陆金星 |
| 地址 | 223100江苏省淮安市洪泽盐化工区（郭桥路北侧、洪盐路东侧） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于电子化学品的取样系统，包括依次连接的至少2个洁净空间，各个洁净空间均与抽真空系统连接；按照行进方向，各个洁净空间的洁净度逐渐增加；各个洁净空间之间设有连通通道，连通通道上设有启闭阀门；所述各个洁净空间均与惰性气体供应系统连接；还包括输送系统，以将取样瓶从各个洁净空间之间实现输送。本实用新型通过将生产系统和取样系统分开设置，从而不需要在工厂内设置庞大的洁净室，从而节约了土地和空间，降低了成本。 |
