一种用于过滤器的滤芯更换系统
基本信息
| 申请号 | CN202022133482.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213668325U | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN213668325U | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | B01D46/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 金向华;夏致远;张友圣;李刚;曹文权 | 申请（专利权）人 | 金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司 |
| 代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陆金星 |
| 地址 | 223100江苏省淮安市洪泽盐化工区（郭桥路北侧、洪盐路东侧） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于过滤器的滤芯更换系统，包括抽真空系统、惰性气体供应系统、以及尾气处理系统，过滤器的顶部、底部均与所述抽真空系统连接；所述惰性气体供应系统与所述过滤器的底部连接；所述过滤器的顶部、底部均与所述尾气处理系统连接。在更换滤芯时，可以先用抽真空系统系统抽走残留的电子气体，然后用惰性气体供应系统置换过滤器内的残留的电子气体，防止电子气体（或其形成的腐蚀性液体）因腐蚀管道而带来的安全风险和产品质量事故；再然后，再次用抽真空系统系统抽走惰性气体和可能残留的电子气体，从而保证管道内肯定不会有残留，从而彻底杜绝了电子气体（或其形成的腐蚀性液体）腐蚀管道的问题。 |
