一种高纯电子化学品的充装系统
基本信息
| 申请号 | CN202022133466.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213040302U | 公开（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申请公布号 | CN213040302U | 申请公布日 | 2021-04-23 |
| 分类号 | F17C5/00;F17D1/02;F17D3/01;B01D46/00 | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 金向华;夏致远;王毅;曹文权;李刚 | 申请（专利权）人 | 金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司 |
| 代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陆金星 |
| 地址 | 223100 江苏省淮安市洪泽盐化工区(郭桥路北侧、洪盐路东侧) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高纯电子化学品的充装系统，包括至少2个产品罐、至少2组过滤机构、以及输送装置；所述一号产品罐通过输送装置与第一级过滤机构的入口连接，所述第一级过滤机构的出口与所述一号产品罐的顶部连接，构成第一级循环过滤体系；所述一号产品罐通过输送装置与第二级过滤机构的入口连接，所述第二级过滤机构的出口与所述一号产品罐的顶部连接，构成第二级循环过滤体系；所述第一级循环过滤体系中的过滤机构的过滤精度小于所述第二级循环过滤体系中过滤机构的过滤精度。本实用新型新通过设置至少2个产品罐，形成了两套多级循环过滤体系，从而实现了连续式工作，从而大大提高了工作效率。 |
