一种用于电子级气体提纯装置的安全环保停车方法

基本信息

申请号 CN202110750728.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113440881B 公开(公告)日 2022-06-03
申请公布号 CN113440881B 申请公布日 2022-06-03
分类号 B01D3/14(2006.01)I;B01D46/00(2022.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 金向华;孙猛;夏致远 申请(专利权)人 金宏气体电子材料(淮安)有限责任公司
代理机构 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 223100江苏省淮安市洪泽盐化工区盐南大道西首(江苏振方生物化学有限公司)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于电子级气体提纯装置的安全环保停车方法,安全环保停车方法包括:关闭电子级气体提纯装置的上游进料阀门和下游出料阀门,使电子级气体提纯装置与外界隔断;关闭原料罐与过滤器连接的手阀、冷凝器用于排出不凝气的手阀、精馏塔与换热器之间的手阀以及换热器的热水回水手阀;降低精馏塔内的压力以及精馏塔的输入流量和输出流量,使精馏塔保持低负荷循环运行。本申请的用于电子级气体提纯装置的安全环保停车方法,无需在停车时对机泵,设备,管线中的物料进行处理,防止有毒和腐蚀性介质及易燃易爆的化学品污染环境或发生事故;避免在拆除管道,维修,置换吹扫施工过程中对人员造成伤害;降低生产能耗提高生产效益。