一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法

基本信息

申请号 CN200610134481.0 申请日 -
公开(公告)号 CN1988106A 公开(公告)日 2007-06-27
申请公布号 CN1988106A 申请公布日 2007-06-27
分类号 H01J37/244(2006.01);G01T1/29(2006.01);G01R19/00(2006.01) 分类 基本电气元件;
发明人 陆文琪;邓新绿;刘佳宏;徐军;董闯 申请(专利权)人 大连理工营口研究院有限公司
代理机构 大连理工大学专利中心 代理人 侯明远;李宝元
地址 116024辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及到一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法,用于诊断等离子体的空间电位、电荷密度、电子温度等参数。其特征是使用“准直流”探针偏置信号代替常规的锯齿波扫描偏置信号,利用虚拟仪器代替常规的扫描信号发生器生成探针偏置信号并对探针的电压、电流信号进行采集和分析计算。本发明的效果和益处是不需要电流与电压信号采集同步,降低了对数据采集卡的要求;可通过多次采集提高数据的信噪比;更重要的是可以通过灵活地变更采样率克服等离子体波动的干扰,从而能够对波动的等离子体进行诊断。