一种快照式光谱共焦传感器及其测量方法
基本信息
| 申请号 | CN202110899634.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113465517A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113465517A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G01B11/02（2006.01）I;G01B11/14（2006.01）I;G02B3/00（2006.01）I;G03H1/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周建康;杨平;凌晨;陈志敏 | 申请（专利权）人 | 儒众智能科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州六一专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈陈 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区方泾路8号群祥工业坊1#厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种快照式光谱共焦传感器及其测量方法，涉及传感器技术领域，包括准直透镜组、分光镜一、校正板、微透镜阵列、聚焦镜一、体光栅和面阵探测器，所述准直透镜组呈水平设置，所述分光镜一处于准直透镜组的正下方，且分光镜一呈45°倾斜设置，所述校正板呈水平设置并处于分光镜一的正下方，所述聚焦镜一竖直设置并处于分光镜一所在平面，且聚焦镜一设置于分光镜一的一侧，所述聚焦镜一与校正板呈反射镜像对称，所述微透镜阵列呈水平设置并处于校正板的正下方；本发明采用面阵色散阵列和系统一体化非线性色散补偿方法，实现快照式面区域的形貌信息获取，具有微米甚至几十纳米的高度或位移分辨率。 |
