一种线式扫描光谱共聚测量系统与方法

基本信息

申请号 CN202110899633.0 申请日 -
公开(公告)号 CN113465547A 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN113465547A 申请公布日 2021-10-01
分类号 G01B11/25(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 周建康;杨平;凌晨;陈志敏 申请(专利权)人 儒众智能科技(苏州)有限公司
代理机构 苏州六一专利代理事务所(普通合伙) 代理人 沈陈
地址 215000江苏省苏州市工业园区方泾路8号群祥工业坊1#厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种线式扫描光谱共聚测量系统与方法,包括照明模块、线色散模块、线谱接收模块和再成像模块;所述照明模块包括白光光源和聚光镜,提供可见光范围内的照明,通过聚光镜提高光能的利用率。该线式扫描光谱共聚测量系统与方法,通过三个独立的线色散成像光路级联形成具有线视场的光谱共焦测量系统,即通过线视场分光成像、线光谱光复合、线视场再分光成像的过程,同时具有高空间分辨率和高光谱分辨率,一次拍照得到两维空间信息的探测,即狭缝线视场方向的空间分布,以及焦面不同位置的波长反映出的物体表面的高低信息,再通过一维推扫,形成三维空间分布实现3D形貌测量。三个色散成像光路可独立装调测试,简化了系统结构。