一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器
基本信息
| 申请号 | CN201821201828.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208399080U | 公开（公告）日 | 2019-01-18 |
| 申请公布号 | CN208399080U | 申请公布日 | 2019-01-18 |
| 分类号 | G01L21/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 贺良武;王磊;王明桃;樊厚杰 | 申请（专利权）人 | 成都兴睿宝电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杨琪 |
| 地址 | 610000 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区工业集中区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器，包括金属外壳、绝缘盖、可伐杆和永磁体，金属外壳为顶部开口和底部开口的管形腔体，绝缘盖与金属外壳的顶部开口密封连接，在绝缘盖上连接有阳极杆，阳极杆位于金属外壳内，阳极杆与金属外壳之间留有间隙，在绝缘盖上还设有可伐杆，可伐杆设有两个，两个可伐杆在绝缘盖上间隔设置，在绝缘盖下端面的可伐杆位于金属外壳内，在绝缘盖下端面的两个可伐杆之间连接有灯丝，永磁体为圆环形结构，永磁体套设在金属外壳的外壁上。该传感器综合了反磁控规与皮拉尼规的测量方法，能够根据具体的真空度进行单独测量，提高了该传感器的适用范围，降低使用成本，扩大了真空度测量范围。 |
