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一种远程等离子体源RPS腔体结构

基本信息

申请号 CN202022752230.7 申请日 -
公开（公告）号 CN213459632U 公开（公告）日 2021-06-15
申请公布号 CN213459632U 申请公布日 2021-06-15
分类号 H01J37/32（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 刘文丰;崔婷婷;皮昌全 申请（专利权）人 江苏信基科技有限公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 潘云峰
地址 225000 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种远程等离子体源RPS腔体结构，包括进气腔一端设有进气口，另一端底部设有点火口；进气喷嘴设在进气口；电离腔竖向设在点火口上方，底端与进气腔另一端顶部连通设置，口径大于进气腔口径；出气腔横向设置在电离腔上方，一端与电离腔顶端连通，另一端设有排气口；回流腔连通电离腔顶端与进气腔靠近进气口一侧顶部。本实用新型气体由进气口进入经过进气腔到达电离腔，点火发生电离反应生成氟离子，通过出气口排出至反应室内，未电离气体由回流腔回流至进气腔内；电离腔的口径大于进气腔，气体在进入电离腔内部时降低了压力，降低了F原子因激烈的碰撞重新组合在一起的概率，使F原子剩余百分比增加，提高了清洁的效率。