太阳能电池硅片清洗装置

基本信息

申请号 CN201120424978.2 申请日 -
公开(公告)号 CN202308012U 公开(公告)日 2012-07-04
申请公布号 CN202308012U 申请公布日 2012-07-04
分类号 H01L31/18(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;F26B21/04(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 庞井明;张云国;俞英芸;张立波;石义洋 申请(专利权)人 宁波市鑫友光伏有限公司
代理机构 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 代理人 宁波市鑫友光伏有限公司
地址 315145 浙江省宁波市鄞州区滨海投资创业中心启航南路555号(宁波市鑫友光伏有限公司)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种太阳能电池硅片清洗装置,包括清洗槽和干燥室,其特征是在清洗槽内设有超声波发生器,在干燥室上设有负压吸风口和热量循环回路,负压吸风口和热量循环回路之间连接有空气净化回收单元。在清洗槽和干燥室之间设有输送装置,在干燥室内设有加热器。在清洗槽上设有视窗口。本实用新型提供的太阳能电池硅片清洗装置,特别适合于采用溶剂型清洗剂对硅片进行清洗,由于溶剂具有极强的渗透性,对硅片表面的残留物也有溶解和强力的清洗作用,再在超声波的作用下,能迅速达到清洗目的,与现有技术相比,缩短了清洗时间,简化清洗设备及清洗工艺。提高设备产能;节约了清洗能耗,也提高了对硅片清洗的清洁度。