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一种具有超结结构的功率器件及其制作方法

基本信息

申请号 CN201811276121.3 申请日 -
公开（公告）号 CN109411529B 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN109411529B 申请公布日 2021-09-21
分类号 H01L29/06（2006.01）I;H01L21/8222（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 南京多基观测技术研究院有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 任立
地址 211500 江苏省南京市六合区雄州街道王桥路59号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有超结结构的功率器件及其制作方法，该具有超结结构的功率器件包括位于终端区内的超结结构，所述超结结构包括至少一个第一导电类型的第一半导体柱及至少一个第二导电类型的第二半导体柱，第一半导体柱与第二半导体柱横向交替排布；超结结构还包括第二隔离层和第三隔离层，第二隔离层与第二半导体柱的一端连接；第三隔离层与第一半导体柱的一端连接。本发明所述具有超结结构的功率器件中的所述超结结构相当于多个PN结并联，其可通过较大的漏电流，从而起到对所述具有超结结构的功率器件的有源区进行保护的作用。