一种利用显影液吸光度测试光刻胶用树脂碱溶解速率的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110048728.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112683828A | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN112683828A | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G01N21/31(2006.01)I;G01B21/08(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 马阳阳;张东宏;李宝军 | 申请（专利权）人 | 陕西彩虹新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京卓特专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 段宇 |
| 地址 | 712021陕西省咸阳市秦都区彩虹二路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种利用显影液吸光度测试光刻胶用树脂碱溶解速率的方法，将树脂粉末溶解在PGMEA中，制成一定浓度的树脂溶液，并在涂膜显影机上设定相应程序于硅片上涂覆树脂溶液，然后在一定显影液碱度、流量条件下显影，通过测试显影液的吸光度值随时间变化的曲线趋于稳定的时间确定为树脂显影的最佳时间，最后冲洗、烘干计算结果。本发明的主要有益效果是：树脂的碱溶解速率为光刻胶合成用树脂的选型提供有力依据。整个过程耗时短，可靠性强，重复性好。 |
