一种大幅面高速高精度自动光学检测设备

基本信息

申请号 CN201510828145.5 申请日 -
公开(公告)号 CN105486341B 公开(公告)日 2017-12-08
申请公布号 CN105486341B 申请公布日 2017-12-08
分类号 G01D21/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 张星祥;王文华;张帆;孙斌;谷仓 申请(专利权)人 长春乙天科技有限公司
代理机构 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 代理人 长春乙天科技有限公司
地址 130062 吉林省长春市高新北区北湖科技园(盛北大街3333号)C1栋7楼
法律状态 -

摘要

摘要 一种大幅面高速高精度自动光学检测设备,涉及自动光学检测领域,解决了现有自动光学检测设备中移动小视场镜头、容易将各种误差引入到检测精度中的问题。该设备包括支撑平台;减震支架;平移导轨副;平移导轨副上的工件台;透射照明光源;精密驱动装置;控制系统;光栅尺;镜头支架;反射照明光源;反射镜;精密调焦平台;大视场高精度镜头;拼接探测器焦面组件。大视场高精度镜头的成像视场大于750mm,成像焦面由品字形拼接的探测器阵列构成,控制部分或全部拼接探测器以不同帧频工作,以匹配不同工件的移动速度。本发明通过大视场高精度镜头结合多片探测器拼接焦面,突破单镜头不能大视场成像、多镜头成像不一致的问题,提高了检测效率和精度。