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叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器

基本信息

申请号 CN202210103998.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114567283A 公开（公告）日 2022-05-31
申请公布号 CN114567283A 申请公布日 2022-05-31
分类号 H03H9/02（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I 分类 基本电子电路;
发明人 宋崇希;王放;姚艳龙 申请（专利权）人 江苏卓胜微电子股份有限公司
代理机构 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 214000江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢11层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器，涉及谐振器领域，该叉指换能结构包括：平行设置的第一汇流排和第二汇流排，第一汇流排上设置有多个第一电极、第二汇流排上设置有多个第二电极，多个第一电极和多个第二电极相对间隔设置在第一汇流排和第二汇流排之间的中间区域；中间区域包含叉指区和不属于所述叉指区的单极区；单极区中各第一电极之间和各第二电极之间通过多个金属条连接，并在各电极的电极端以及对应电极处设置金属加厚层。在本发明中通过将单极区中各第一电极之间和各第二电极之间通过多个金属条连接，并设置金属加厚层，利用上述结构使单极区和叉指区声速不同，从而对横向模式波纹进行有效抑制。