一种声表面波谐振器及滤波器
基本信息
| 申请号 | CN202111578906.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114221634A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114221634A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H03H9/25（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 宋崇希;王放 | 申请（专利权）人 | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 王风茹 |
| 地址 | 214072江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢11层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种声表面波谐振器及滤波器。该谐振器包括依次层叠设置的支撑层、温度补偿层、压电层、叉指换能器层和调频层；叉指换能器层包括多个叉指换能器，压电层的材料包括X‑40Y铌酸锂，支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度；调频层至少覆盖叉指换能器。本发明实施例对声表面波谐振器的压电层以及支撑层进行改进，由于X‑40Y铌酸锂传播声波的速度较高，使得谐振器的工作频率大幅提升，达到5G甚至5G以上频率；支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度，能量被限制在表面，不会产生体波泄漏，从而减小器件损耗；本发明实施例增加调频层，保护叉指换能器的同时可调节谐振器的频率。 |
