一种基于柔性铰链的Z向纳米位移定位平台
基本信息
| 申请号 | CN201810964124.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109036495A | 公开（公告）日 | 2018-12-18 |
| 申请公布号 | CN109036495A | 申请公布日 | 2018-12-18 |
| 分类号 | G12B5/00 | 分类 | 仪器的零部件; |
| 发明人 | 贾静;王慧锋 | 申请（专利权）人 | 三英精控（天津）科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津协众信创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王力强 |
| 地址 | 301700 天津市武清区福源道北侧创业总部基地C21号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了基于柔性铰链的Z向纳米位移定位平台，平台本体包括运动平台和基座，运动平台通过柔性铰链与基座连接；平台本体内开设有盲孔，在盲孔内安装依次安装有锁紧螺母、半球螺母、第一钨钢半球、压电陶瓷和第二钨钢半球，盲孔的一端部与第二钨钢半球接触，另一端部内安装有锁紧螺母和半球螺母，半球螺母与第一钨钢半球的表面接触；柔性铰链的上端面与运动平台连接，柔性铰链的下端面与基座连接。本发明的有益效果是运动平台与基座之间的柔性铰链的上端面连接点及下端面连接点的数量能够提高谐振频率，同时柔性铰链一体加工成型，其变性一致性好，能保证较小的Z向运动偏摆角，能够满足要求高的使用场合，整体结构简单，应用范围广。 |
