真空磁控溅射镀膜线真空保压箱快速换气装置
基本信息
| 申请号 | CN201621205376.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206127412U | 公开（公告）日 | 2017-04-26 |
| 申请公布号 | CN206127412U | 申请公布日 | 2017-04-26 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邓君;崔伏球 | 申请（专利权）人 | 重庆物华天宝镀膜科技有限公司 |
| 代理机构 | 重庆市前沿专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 重庆物华天宝镀膜科技有限公司 |
| 地址 | 402560 重庆市铜梁县铜梁工业园区产业大道69号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱快速换气装置，包括保压箱本体，所述保压箱本体的前段为过度室，在所述保压箱本体的过度室的顶面分布有至少两个进气口，在进气口上安装空气管，所述空气管上设置有空气自动流量调节阀，进气筒的一端封闭，另一端开口，所述空气管与进气筒的开口端相连，所述进气筒的筒壁上分布有若干进气孔，所述进气筒内周向分布有若干过滤筒，所述过滤筒由过滤棉围成，所述过滤筒沿进气筒的轴线延伸；所述保压箱本体的侧面设置有抽气管，所述抽气管与抽气泵相连。能实现快速换气的同时提高玻璃镀膜的质量。 |
