基片偏移的诊断及校正方法和诊断及校正装置
基本信息
| 申请号 | CN200710179912.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101465311B | 公开（公告）日 | 2011-12-07 |
| 申请公布号 | CN101465311B | 申请公布日 | 2011-12-07 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李永军 | 申请（专利权）人 | 安徽尚特杰企业管理有限公司 |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;安徽天尚清洁能源科技有限公司;李永军;安徽尚特杰企业管理有限公司 |
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基片偏移的诊断及校正方法，其包括以下步骤：10)诊断步骤：基于第一传感器的检测结果判断传送部件所携带的基片是否发生偏移，若无偏移，则不进行下述校正步骤；若有偏移，则转入下述校正步骤；20)校正步骤：调整所述基片的位置，使其消除偏移而回归基准位置。此外，本发明还提供了一种基片偏移的诊断及校正装置，包括诊断单元和校正单元，其中诊断单元用于判断传送部件所携带的基片是否发生偏移，若有偏移，则触发校正单元工作；若无偏移，则不进行任何操作；校正单元用于调整所述基片的位置，以使其消除偏移而回归基准位置。本发明提供的方法和装置简单易行，能使基片准确传送，且传送精度高、可靠性好。 |
