一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘
基本信息
| 申请号 | CN202120130043.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214122679U | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN214122679U | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | G03F7/16（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 黄大勇;李天宝;谢凡;汪晓虎;晏俊 | 申请（专利权）人 | 随州润晶电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 441300湖北省随州市曾都经济开发区（泰晶科技园） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘，包括圆柱形旋转轴，旋转轴的中间有中心孔，侧边有方形卡槽，旋转轴上设置有旋转圆盘，旋转圆盘上设置有方形凸台，方形凸台四个角导圆与旋转圆盘同面，方形凸台与旋转圆盘形成台面，方形凸台的四边处分别设置有微型斜孔，且其正中位置设置有中心微孔，微型斜孔和中心微孔通过导管与中心孔相通，组成真空吸附通道。本实用新型具体方便超薄石英晶片取放，载台旋转平稳，石英晶片吸附在载台表面不变形，有效保障光刻胶旋涂过程中涂布均匀。 |
