一种正性光刻胶组合物
基本信息
| 申请号 | CN202111145605.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113946099A | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN113946099A | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | G03F7/016（2006.01）I;G03F7/039（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 何卿;胡凡华;朴大然;卢克军;张宁 | 申请（专利权）人 | 北京北旭电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京柏杉松知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张彦彦;刘继富 |
| 地址 | 100015北京市朝阳区东直门外酒仙桥路10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种正性光刻胶组合物，基于所述正性光刻胶组合物的总重量，所述正性光刻胶组合物包括：酚醛树脂10‑20wt％，感光化合物4‑6wt％，交联剂5‑10wt％，流平剂0.05‑0.10wt％，粘附性促进剂0.05‑0.10wt％，溶剂65‑80wt％；其中，所述酚醛树脂为线性酚醛树脂，结构式如式I所示，其中，n1为自然数，85≤n1≤170。本申请提供的正性光刻胶组合物，具有高耐热的特性，耐热温度可达到230‑250℃，可用于具有高温工艺的生产流程，在曝光工艺中能够形成良好的图形形貌，同时具有良好的均一性，用于外围电路时，能够有效减少磨边时崩坏不良的发生。 |
