树脂组合物、光刻胶组合物及图案化方法
基本信息
| 申请号 | CN202110930729.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113589649A | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN113589649A | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | G03F7/004（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 胡凡华;张腾;何卿;刘洪雷;方兵;朴大然;卢克军;张宁 | 申请（专利权）人 | 北京北旭电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 唐菲 |
| 地址 | 100000北京市朝阳区东直门外酒仙桥路10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种树脂组合物、光刻胶组合物及图案化方法，属于光刻技术领域。树脂组合物按质量百分比计包括20～50％的第一树脂和50～80％的第二树脂；第一树脂的结构如式Ⅰ所示；第二树脂的结构如式II‑1或者式II‑2所示。树脂组合物中，含有至少两种二甲酚结构单元质量百分比不同的第二树脂，且二甲酚结构质量百分比≥30％的第二树脂的质量百分占比＜60％。光刻胶组合物按质量百分比计包括：70～85％的溶剂、1～10％的感光剂以及10～20％的树脂组合物；感光剂包括G线感光剂和I线感光剂。该树脂组合物应用于光刻胶中，能够使得光刻胶兼具较高的分辨率和较快的感度。 |
