具有应力调节层的微热板
基本信息
| 申请号 | CN202021585324.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212572999U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212572999U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | H05B3/14(2006.01)I; | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 崔铮;张克栋;余飞;陈晓跃;刘福星;周健 | 申请（专利权）人 | 苏州纳格光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 常伟 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼109室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种具有应力调节层的微热板，包括：硅基底，包括相对设置的第一表面及第二表面；硅基底包括中心加热区及外围支撑区，中心加热区包括贯穿第一表面以及第二表面的空气绝热腔；陶瓷悬膜，设于第一表面；应力调节层，覆盖至少部分陶瓷悬膜的上表面；加热层，加热层包括加热电阻膜及加热电极；加热电阻膜设于陶瓷悬膜上方并位于中心加热区，加热电极设于陶瓷悬膜上方并与加热电阻膜电连接；加热层至少部分与应力调节层接合。本实用新型的具有应力调节层的微热板，通过设置覆盖陶瓷悬膜的应力调节层，能够吸收陶瓷悬膜受热产生的热应力，可以大大提高陶瓷悬膜的应力承受能力，提高了微热板的稳定性。 |
