一种离子束和化学机械抛光组合的铝合金反射镜加工方法
基本信息
| 申请号 | CN202011043575.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112171387A | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN112171387A | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | B24B1/00(2006.01)I;C23F3/02(2006.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 关朝亮;戴一帆;彭小强;胡皓;杜春阳 | 申请（专利权）人 | 湖南天创精工科技有限公司 |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 谭武艺 |
| 地址 | 411100 湖南省长沙市开福区清水塘街道芙蓉中路潇湘华天大酒店41楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种离子束和化学机械抛光组合的铝合金反射镜加工方法，包括：对铝合金反射镜利用单点金刚石车削进行面形误差修正；对铝合金反射镜进行离子束修行；对铝合金反射镜进行迭代化学机械抛光。由于铝合金化学性质活泼，材料偏软，普通加工方法以产生污染和损伤，反复迭代加工降低效率。本发明提出非接触式离子束加工和化学机械抛光组合工艺的方法，可提高铝合金反射镜加工效率和精度。本发明通过对单点金刚石车削后的铝反射镜表面进行低能离子束溅射实现精确的高精度表面面形修形，达到目标面形需求，后通过化学机械抛光方法对离子束修形后铝合金反射镜表面粗糙度实现修正降低，最终获得目标面形与粗糙度的铝合金反射镜。 |
