用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置
基本信息
| 申请号 | CN201921039263.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210215539U | 公开（公告）日 | 2020-03-31 |
| 申请公布号 | CN210215539U | 申请公布日 | 2020-03-31 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王越民;王焘骏 | 申请（专利权）人 | 佛山王氏航空光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京世誉鑫诚专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭官厚 |
| 地址 | 528225广东省佛山市南海区狮山镇经济开发区北园(测试车间) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，本实用新型通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转，实现对各组备用晶振片的选择，通过采用升降电机配合升降机构，使其实现机械手组件的上下轴向移动，通过采用机械手开合电机连接机械手组件，实现机械手组件的开合，从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换，使镀膜机炉体内的工作环境不受影响，保证工作质量与提高工作效率，而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转，使得达到定位精度高、无抖动，晶振片重复位置几乎无偏差的效果，本实用新型使用方便，不需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大减少，保证了工作质量，提高了工作效率。 |
