一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构
基本信息
| 申请号 | CN201921039276.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210856324U | 公开（公告）日 | 2020-06-26 |
| 申请公布号 | CN210856324U | 申请公布日 | 2020-06-26 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王越民;王焘骏 | 申请（专利权）人 | 佛山王氏航空光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京世誉鑫诚专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭官厚 |
| 地址 | 528225广东省佛山市南海区狮山镇经济开发区北园(测试车间) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，本实用新型的挂桶下活动连接有可分离的小齿轮与旋转中心的不动齿轮盘啮合，形成了桶有自身自转又围绕炉体中心有公转的状态，使依附在挂桶表面的产品在旋转中获得靶材的离子溅射膜，实现弧形产品镀膜，而小齿轮的顶端贯穿有挂架托盘，挂架托盘在挂桶的外围围绕放置挂架有若干组，等距于挂桶与靶材的距离，而挂架的底端连接有自转齿轮机构，依照挂架的原理，实现了平板形的产品镀膜与弧面产品镀膜的兼容，在平板镀膜时，只要取下桶，装上平板挂架即可；在镀孤面产品时，取下平板挂架，装上桶，从而实现一炉多用，有效减少了初投资，使有限的设备，更好适应了变化的市场对不同产品的需求。 |
