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一种键合金丝用微管

基本信息

申请号 CN202011070224.1 申请日 -
公开（公告）号 CN112309914A 公开（公告）日 2021-02-02
申请公布号 CN112309914A 申请公布日 2021-02-02
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李喜尼;黄智伟;黄斯哲 申请（专利权）人 江西森通新材料科技有限公司
代理机构 南昌佳诚专利事务所 代理人 闵蓉;詹彩霞
地址 344100江西省抚州市临川区科技园路666号临川高新科技产业园
法律状态 -

摘要

摘要 一种键合金丝用微管，属集成电路制造技术领域，包括微管体和阻尼部，阻尼部安装在微管体内部，键合金丝筒微管体顶部穿入并从其底部穿出。微管体包括锥头、圆台、连杆、中孔、套筒，锥头位于圆台底部，圆台顶部具有连杆，连杆向上连接引线键合机，连杆中央具有中孔，锥头中部四周均布四个套筒，套筒内安装阻尼部。阻尼部包括推杆、凸台、双耳、滑轮、堵帽和弹簧，推杆安装在套筒内，推杆前端具有凸台，凸台用于安装弹簧，凸台前端具有双耳，双耳上安装滑轮。套筒的外端面安装堵帽，堵帽和推杆的凸台之间安装弹簧，推杆穿过堵帽安装在套筒内。阻尼部具有四个，分别安装在四个套筒内。四个阻尼部从四个方向分别给键合金丝提供一定的挤压力。