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一种硅锭滚磨设备

基本信息

申请号 CN202011114538.7 申请日 -
公开（公告）号 CN112222967A 公开（公告）日 2021-01-15
申请公布号 CN112222967A 申请公布日 2021-01-15
分类号 B24B5/18(2006.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 李喜尼;黄智伟;黄斯哲 申请（专利权）人 江西森通新材料科技有限公司
代理机构 南昌佳诚专利事务所 代理人 江西森通新材料科技有限公司
地址 344100江西省抚州市临川区科技园路666号临川高新科技产业园
法律状态 -

摘要

摘要 一种硅锭滚磨设备，属芯片制造技术领域，包括磨削部、驱动部、压紧部和硅锭，驱动部安装在磨削部侧部，压紧部位于磨削部上方，规定安装于磨削部和驱动部之间。磨削部包括底座、磨削棍、从动轮、平台和侧板，底座具有一对，底座上具有并排布置的两个单耳，一对底座之间安装一对磨削棍，磨削棍的转轴外端安装从动轮，与从动轮相同侧的底座外端延伸一个平台，平台内侧还具有向上安装侧板。驱动部包括电机和主动轮，电机安装在平台，电机的输出轴连接主动轮。压紧部包括支架、压紧辊、压紧柱、支撑柱、弹簧和螺母，支架具有一对，支架立于地面，支架上安装压紧棍，压紧辊对硅锭进行压紧操作。压紧辊的转轴两端上方安装压紧柱。