低电流或低功耗热催化元件及其制造方法

基本信息

申请号 CN88106673.7 申请日 -
公开(公告)号 CN1041454A 公开(公告)日 1990-04-18
申请公布号 CN1041454A 申请公布日 1990-04-18
分类号 G01N27/16 分类 测量;测试;
发明人 叶芄生;董华霞;赵润斌 申请(专利权)人 太原电子厂
代理机构 煤炭工业专利事务中心 代理人 方抗美
地址 安徽省淮南市洞山
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种甲烷传感器—低电流或低功耗催化元件及其制造方法,该产品由基片、铂膜电阻、隔离层、引线构成管芯,外覆r晶形的Al2O3载体及催化剂的黑元件与管脚、管座构成。该制造方法主要采用溅射工艺在基片上形成钛过渡层与铂膜电阻,再经热处理后在其上制作隔离层、载体及催化剂。用此法制得的产品具有低电流或低功耗、抗震性能好、抗激活能力强、有本质安全型的特点,更适于在有爆炸性气体的环境中使用。