低电流或低功耗热催化元件及其制造方法
基本信息
申请号 | CN88106673.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN1014458B | 公开(公告)日 | 1991-10-23 |
申请公布号 | CN1014458B | 申请公布日 | 1991-10-23 |
分类号 | G01N27/16 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 叶芄生;董华霞;赵润斌 | 申请(专利权)人 | 太原电子厂 |
代理机构 | 煤炭工业专利事务中心 | 代理人 | 淮南矿业学院;太原电子厂 |
地址 | 安徽省淮南市洞山 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种甲烷传感器—低电流或低功耗催化元件及其制造方法,该产品由基片、铂膜电阻、隔离层、引线构成管芯,外覆r晶形的Al2O3载体及催化剂的黑元件与管脚、管座构成。该制造方法主要采用溅射工艺在基片上形成钛过渡层与铂膜电阻,再经热处理后在其上制作隔离层、载体及催化剂。用此法制得的产品具有低电流或低功耗、抗震性能好、抗激活能力强、有本质安全型的特点,更适于在有爆炸性气体的环境中使用。 |
