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一种硅片加工用石英舟

基本信息

申请号 CN201910751608.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112397425A 公开（公告）日 2021-02-23
申请公布号 CN112397425A 申请公布日 2021-02-23
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘爱军;曹丙强;庄艳歆;周浪 申请（专利权）人 江苏金晖光伏有限公司
代理机构 扬州润中专利代理事务所（普通合伙） 代理人 张琳
地址 225600江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及硅片扩散技术领域，且公开了一种硅片加工用石英舟，包括挡板，所述挡板的数量为两个，两个所述挡板的外表面均固定安装有舟挑架，两个所述挡板内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆，所述上支撑杆的顶面开设有大卡槽和小卡槽，两个所述挡板内表面的底部之间固定连接有下支撑杆，所述下支撑杆的顶部开设有大槽和小槽。该硅片加工用石英舟，通过在硅片上下支撑杆的开设两种槽长，两种槽交替分布，在插入方形硅片时，两种槽有利于擦作人方便辨识，避免误插错，此外由于两种槽长适应两种尺寸硅片，大硅片会发生因错位槽长小无法插入，小硅片错位会因槽长大而松动，方便操作人及时发现错误，避免了硅片的错位损害。