一种加工硅片的工装
基本信息
| 申请号 | CN201910748976.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112388419A | 公开（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申请公布号 | CN112388419A | 申请公布日 | 2021-02-23 |
| 分类号 | B24B7/22(2006.01)I; | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 刘爱军;曹丙强;庄艳歆;周浪 | 申请（专利权）人 | 江苏金晖光伏有限公司 |
| 代理机构 | 扬州润中专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张琳 |
| 地址 | 225600江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及硅片打磨技术领域，且公开了一种加工硅片的工装，包括双杆液压缸，所述双杆液压缸的底端和顶端分别固定安装有下底座和上底座，所述下底座顶部的右侧固定安装有第一密封管，所述上底座底部的右侧固定安装有第二密封管。该加工硅片的工装，通过在固定环的内腔活动套接两根限位杆，限位杆位于固定环内腔的一端安装有弧形板，同时限位杆的外表面活动套接有位于弧形板和固定环内腔之间的伸缩弹簧，同时向外抽动限位杆，改变两个弧形板之间的距离，从而实现了对不同直径大小硅片的固定，向外拉动限位杆后，伸缩弹簧会给弧形板一个向固定环圆心方向的作用力，保证硅片能够稳定固定在固定环的内腔当中，使得打磨效果更加显着。 |
