一种硅片检测工装
基本信息
| 申请号 | CN201910749562.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112387605A | 公开（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申请公布号 | CN112387605A | 申请公布日 | 2021-02-23 |
| 分类号 | B07C5/02(2006.01)I; | 分类 | 将固体从固体中分离；分选; |
| 发明人 | 刘爱军;曹丙强;庄艳歆;周浪 | 申请（专利权）人 | 江苏金晖光伏有限公司 |
| 代理机构 | 扬州润中专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张琳 |
| 地址 | 225600江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片检测工装，涉及硅片生产技术领域，具体为一种硅片检测工装，包括机架，所述机架的一侧设置有检测底座，所述机架靠近检测底座一侧的外壁开设有滑动槽，所述检测底座侧面固定连接有连接板。该硅片检测工装，通过支撑杆以及移动杆的配合使用，使硅片可以旋转，从而达到可以对硅片的两面进行观察检测的目的，无需在检测完硅片的一面后再拿起硅片翻转，避免硅片在多次取拿的过程中损坏，且利用底板与气囊可以将硅片固定，由于气囊的内部设置有气压传感器，有效避免了气囊对硅片的压力过大导致硅片损坏的情况，保证了检测过程中硅片的完好性，同时也提高了硅片检测的便利性。 |
