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一种金刚石线锯切割单、多晶硅片的分选检验方法

基本信息

申请号 CN201810251258.7 申请日 -
公开（公告）号 CN108745921A 公开（公告）日 2021-06-15
申请公布号 CN108745921A 申请公布日 2021-06-15
分类号 B07C5/00;B07C7/00 分类 将固体从固体中分离；分选;
发明人 刘爱军;陈永庆 申请（专利权）人 江苏金晖光伏有限公司
代理机构 扬州润中专利代理事务所（普通合伙） 代理人 谢东
地址 225600 江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种金刚石线锯切割单、多晶硅片的分选检验方法。该方法包括下列步骤，步骤一：自动分选机将硅片分成A类硅片，A‑类硅片以及未识别的硅片，步骤二：操作人员将未识别的硅片中的脏片和密线片挑出，脏片重洗，进入步骤一分选，密线片通过目测，分选出B片和C片，不确定的密线片进入步骤一跑片分选，批量出现未识别的硅片时，进入步骤三，步骤三：未识别的硅片批量出现时，操作人员使用晶片多功能参数检测仪、数显游标卡尺、同心度模板、塞尺以及面粗糙度测试仪复选，步骤四：抽检，步骤五：分类装箱，步骤六：储存。由于自动分选机、人工初复选、人工再次复选以及抽检相配合，将硅片分类成A类硅片，A‑类硅片，B片和C片。