一种金刚石线锯切割单、多晶硅片的分选检验方法
基本信息
| 申请号 | CN201810251258.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108745921B | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN108745921B | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | B07C5/00（2006.01）I;B07C7/00（2006.01）I | 分类 | 将固体从固体中分离；分选; |
| 发明人 | 刘爱军;陈永庆 | 申请（专利权）人 | 江苏金晖光伏有限公司 |
| 代理机构 | 扬州润中专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 谢东 |
| 地址 | 225600江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种金刚石线锯切割单、多晶硅片的分选检验方法。该方法包括下列步骤，步骤一：自动分选机将硅片分成A类硅片，A‑类硅片以及未识别的硅片，步骤二：操作人员将未识别的硅片中的脏片和密线片挑出，脏片重洗，进入步骤一分选，密线片通过目测，分选出B片和C片，不确定的密线片进入步骤一跑片分选，批量出现未识别的硅片时，进入步骤三，步骤三：未识别的硅片批量出现时，操作人员使用晶片多功能参数检测仪、数显游标卡尺、同心度模板、塞尺以及面粗糙度测试仪复选，步骤四：抽检，步骤五：分类装箱，步骤六：储存。由于自动分选机、人工初复选、人工再次复选以及抽检相配合，将硅片分类成A类硅片，A‑类硅片，B片和C片。 |
