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硅片的清洗提篮

基本信息

申请号 CN201910748962.8 申请日 -
公开（公告）号 CN112397424A 公开（公告）日 2021-02-23
申请公布号 CN112397424A 申请公布日 2021-02-23
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘爱军;曹丙强;庄艳歆;周浪 申请（专利权）人 江苏金晖光伏有限公司
代理机构 扬州润中专利代理事务所（普通合伙） 代理人 张琳
地址 225600江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及硅片加工技术领域，且公开了硅片的清洗提篮，包括部件一和部件二，所述部件一和部件二的正面均固定安装有分隔板，所述部件一和部件二正面的底部均固定安装有位于分隔板下方的支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有缓冲垫，所述缓冲垫的上表面固定安装有固定槽，所述部件一正面的左右两侧和部件二正面的左右两侧分别固定安装有安装板一和安装板二，所述安装板一内侧的中部固定安装有滑块，所述安装板二内侧的中部开设有滑槽。该硅片的清洗提篮，通过滑块与滑槽滑动连接再通过螺栓穿过安装孔将滑块与滑槽固定连接，使得提篮的长度可以调节，能够放置许多不同尺寸的硅片，适用范围广，节省了采用设备的成本。