一种用于晶圆装载盒门体的摆放系统
基本信息
| 申请号 | CN202111423027.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114121745A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114121745A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张冬峰;鲍伟成;王文广;王旭晨;叶莹 | 申请（专利权）人 | 上海果纳半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州汇诚汇智专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 庄米雪 |
| 地址 | 200000上海市中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于晶圆装载盒门体的摆放系统，包括晶圆装载机体，机体上设置对接口，晶圆装载机体的一侧面设置摆放机构，摆放机构包括摆动组件、从动组件和对接板，摆动组件设置在对接板的上方，从动组件设置在对接口的下方，摆动组件、从动组件分别与对接板连接，摆动组件能驱动对接板并将对接板摆放到对接口侧上方，从动组件能约束对接板的转动自由度，使摆放到位的对接板的内侧面朝上。利用晶圆装载机顶部的空间，使得晶圆装载机的结构布局更合理，将门体摆放到指定位置后，对接板接近水平放置，能通过对接板给予门体支撑力，降低对真空吸力的依赖，避免由于气压波动带来的影响，实现用于晶圆装载盒门体打开和取放机构的模块化设计。 |
