用于晶片载入台的晶片扫描机构

基本信息

申请号 CN202111263661.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113851405A 公开(公告)日 2021-12-28
申请公布号 CN113851405A 申请公布日 2021-12-28
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张冬峰;章秀国;叶莹 申请(专利权)人 上海果纳半导体技术有限公司
代理机构 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 代理人 顾品荧
地址 200000上海市中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了用于晶片载入台的晶片扫描机构,包括底板和与底板固定连接的水平导板,水平导板上滑动连接有两个水平滑板,水平滑板通过连杆组件与沿竖直面伸缩的驱动件连接,驱动件的输出轴伸出或收回时推动两个水平滑板相对或相向运动。两个水平滑板上分别与对应设置的两个水平长摆臂的一端铰接,水平长摆臂上还铰接有水平短摆臂,水平短摆臂的一端与水平长摆臂铰接,另一端与水平导板铰接,两个所述水平长摆臂可以随水平滑板移动,同时能在两个对应的水平短摆臂作用下在水平面内做反向同步摆动。实现光电传感器伸出和缩回底板的动作,避免了与晶片装载盒或晶片的碰撞,且结构紧凑,节约了空间。