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一种选择性钝化接触电池的制备方法

基本信息

申请号 CN202110140892.5 申请日 -
公开（公告）号 CN112968074A 公开（公告）日 2021-06-15
申请公布号 CN112968074A 申请公布日 2021-06-15
分类号 H01L31/18;H01L31/0224 分类 基本电气元件;
发明人 徐冠群;张林;黄智;谢泰宏 申请（专利权）人 通威太阳能（合肥）有限公司
代理机构 安徽知问律师事务所 代理人 王泽洋
地址 230000 安徽省合肥市高新区长宁大道888号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于晶体硅太阳能电池领域，涉及一种选择性钝化接触电池的制备方法。针对现有技术中选择性钝化电池中轻扩区的形成通常需利用扩散形成掺杂层，后续多晶硅同样需要掺杂，两次扩散等方式需要多次高温，不可避免地需要掩膜去掩膜步骤，导致出现制备步骤繁琐，良率低，成本高，量产可行性低等技术问题。本方案提供了一种选择性钝化接触电池的制备方法，通过在制绒后的单晶硅片表面制备氧化层，沉积非晶硅层，接着晶化且掺杂所述非晶硅层，迅速推结，制备轻扩区，利用矩形激光在所述掺杂多晶硅层表面制备致密氧化层后去除未被致密氧化层保护的掺杂多晶硅层，步骤简单，减少整个工艺流程的步骤，成本低廉，得到了一种性能优异的选择性钝化电池。